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애질런트는 4284A 및 4279A를 대체하는 새로운 E4980A, 20 Hz ~ 2 MHz 고정밀 LCR 미터모델을 발표했습니다.
E4980A는 2006년 2월 1일부터 판매됩니다. 자세한 정보는 여기를 방문하십시오.
애질런트 4279A 1MHz C-V 미터는 반도체의 정전용량 대 바이어스 전압 특성을 측정할 때 측정 품질과 속도를 높이기 위한 최적의 솔루션을 제공합니다. 4279A는 DC 바이어스 전압을 스위핑하면서 0.1%의 기본 정확도와 6디지트의 디스플레이 분해능으로 0.00001pF ~ 1280.00pF 범위에 걸쳐 정전용량을 측정합니다. 프로그래밍 가능한 내장형 DC 바이어스 스위프 소스는 +/-38V 전 범위에 걸쳐 0.1%의 전압 정확도를 가지고 있기 때문에 바이어스 전압 불확실성을 줄여 측정 오류를 크게 낮춥니다. 이러한 4279A는 버랙터 다이오드, MOS 다이오드 등의 특성을 정밀하게 분석하는데 이상적으로 사용할 수 있습니다. 10ms, 20ms 및 30ms/meas의 3가지 모드에서 측정 속도를 선택할 수 있어 생산성이 극대화됩니다. 애질런트 4279A에서는 범위 조정이 매우 빠르고 GP-IB 데이터 전송이 고속으로 이루어져 테스트 시간이 줄어듭니다. 자동 바이어스 극성 제어 기능으로 DUT(테스트 대상 장치)에 적합하게 올바른 극성 바이어스 전압을 빠르게 선택할 수 있습니다. 이 새로운 기능은 입고/출고 검사에서 수동으로 이루어지는 샘플 테스트 작업을 원활히 하고 자동 테스트 시스템에서는 극성을 간단히 제어하는 방법으로 이용됩니다.
특징
- 웨이퍼의 도핑 프로파일을 수행하기 위한 C-V 측정
- 버랙터 다이오드의 C-V 특성 분석 및 정렬
- RF 믹서와 스위칭 다이오드의 캐패시턴스 테스트
- 입고 검사를 위해 인가된 DC 바이어스로 캐패시터 테스트
- 측정 시간: 10ms/20ms/30ms
- 측정 정확도: 0.1% (20ms)
- 내장 DC 바이어스: 0 ~ +/-38V, 0.1% 프로그램형 스위프
- 측정 범위: 0.00001pF ~ 1280pF
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